大众皆知，传统的晶圆从坐褥到运载齐需要在相对密闭、无尘的条目下进行调教 小说，一样是将坐褥开辟置于稳当晶圆坐褥的正派净室中。而跟着当代半导体时候的速即发展，对工艺环境的要求愈加严格。正派度、高良率、高生动性、低本钱成为行业竞争的趋势，传统洁净时候很难达到这么的要求，因此SMIF远隔时候应时而生。
晶圆远隔时候又称轨范机械（界面）接口（Standard Mechanical Interface简称SMIF），时候见识等同于将洁净室平直树立于开辟中，可在次等第（ISO等第6或更高等）集成电路制造FAB中提供ISO2级晶圆盒传输环境。SEMI的征询数据阐述，ISO-5级、ISO-4级和ISO-3级开辟中的通达式晶圆盒传送比拟，SMIF时候提供的晶圆清洁度保护分裂提升了100倍、30倍和10倍。主要时候包括晶圆盒（POD）、SMIF I/O（input&Output）及迷你洁净环境（Mini-environment）。
晶圆盒（POD）
晶圆盒是在储存和运载过程中存放晶圆的密闭容器，其里面可容纳25片200/300mm晶圆。它是将晶圆其与周围环境离隔，以保证密闭的洁净环境和减少晶圆在传输过程中振动。
SMIF I/O（input&Output）
通过自动化机械安装通过SMIF机械手（SMIFI-Arm）将晶圆载具（cassettes）从晶圆盒（POD）取出，放在工艺开辟接口上加工，后又将cassettes取回放入晶圆盒（POD）中。整个过程齐远隔外部环境影响，愈加可靠，容错率更高。
萝莉在线迷你洁净环境（Mini-environment）
迷你洁净环境内包含工艺开辟、晶圆盒（POD）、晶圆载具（cassettes）、机械手、升/降模组等配件和多种传感器高度集成，通过特定的SMIF系统进行装载、传递、运输等复杂机械智力四肢。它与SMIF系统通过稳当的接口集成在整个，形成独处的工资单位。注视开辟的材料自己溢出微量有机蒸发物、指点过程产生的发成、开辟的密封性等等有可能酿成混浊。
SMIF晶圆轨范机械界面的上风：
1：减少原生环境对晶圆的混浊，有用提升晶圆的良率；
2：自动化进度更高，有用提升IC坐褥闭幕、安全性、容错率；
3：占大地积小，生动性高；
4：SMIF轨范机械界面可运用于除一些畸形半导体工艺需高于class1/IOS1级的超洁净室的FAB厂中。这意味着在建筑结构方面、机械和电力系统的投资大幅度减少；
5：摄取SMIF轨范机械界面的洁净室的换气次数更少，需处理空气量更小，有意于减少轮回风机和过滤器的使用次数，从而延迟使用寿命和裁汰开动本钱；
6：在IC制造过程中调教 小说，由于摄取轨范机械界面SMIF远隔时候，关于东说念主员服装的要求不错相应裁汰，可有用减少整装用度。
SMIF远隔时候发展史
八十年代初期SMIF时候由好意思国惠普（Hewlett-packard）实践室滥觞忽视；
八十年代中期由Asyst公司将SMIF系统开辟、SMIF-pod、SMIF-Arm推出阛阓；
九十年代巨室富创得（FORTREND）、Verteq Inc等公司链接挫折SMIF系统开辟；
如今巨室富创得FORTREND SMIF开辟占据国内绝大部分份额，成为国内SMIF开辟不能替代的主力军之一，并得回大批头部企业考据。
SMIF（轨范机械界面）的运用
SMIF世俗运用与IC制造过程中，如：光刻制造、干法蚀刻制造、真空制造等配套传输开辟。
SMIF（轨范机械界面）的阛阓概览
2023 年 SMIF（轨范机械接口）阛阓限度为 27 亿好意思元，瞻望到 2030 年底将达到 76 亿好意思元，2024-2030 年预测时刻复合年增长率为 17.5%。
1）要道驱出发分
对半导体制造闭幕的需求不停增多：SMIF 时候为晶圆处理提供轨范化接口，简化半导体坐褥历程。跟着半导体制造的复杂性不停增多，SMIF 系统在提升闭幕、裁汰混浊风险和提升产量方面发挥着至关遑急的作用。对更高效、无混浊的坐褥环境日益增长的需求正在推进 SMIF 治理有规划的摄取。
晶圆处理系统的时候跳动：晶圆处理系统的执续跳动是 SMIF 阛阓的遑急驱能源。跟着半导体制造商远程提升产量和减少舛误，SMIF 时候的翻新（举例自动化和机器东说念主集成）不错改善材料处理和存储。这些时候改进扶植更精准、更快的半导体制造。
行业向更小、更复杂的开辟改换：对微处理器、存储芯片和传感器等更小、更弘远的半导体开辟的需求正在推进对增强晶圆处理和混浊收尾的需求。 SMIF 时候扶植这些微型组件的坐褥，这些组件需要严格的清洁度和处理轨范。这一趋势正在推进 SMIF 阛阓的增长。
2）发展趋势
越来越多地摄取自动化和物联网：自动化和智能制造的趋势在半导体行业正在繁茂发展。 SMIF 系统越来越多地与扶植物联网的开辟集成，从而收尾及时监控和数据网罗。这一趋势正在提升工艺闭幕，并为愈加智能和自动化的半导体制造环境铺平说念路。
越来越感情洁净室轨范：跟着半导体器件变得愈加先进、尺寸越来越小，混浊收尾的需求变得愈加遑急。SMIF系统旨在舒服严格的洁净室轨范，跟着这些轨范的不停发展，对确保高水平清洁度的 SMIF时候的需求瞻望将会上涨。
半导体制造在亚太地区的膨大：亚太地区，相当是中国、韩国和台湾，半导体制造正在快速增长。跟着这些地区恬逸投资半导体坐褥才能，对 SMIF治理有规划的需求瞻望也会大幅增多。这一区域膨大瞻望将推进 SMIF时候的行家阛阓增长和翻新。
巨室富创得FORTREND 轨范机械界面SMIF发展史
巨室富创得FORTREND于1979年在好意思国硅谷成立，专注于晶圆传输时候、轨范机械接口（SMIF）时候、超洁净晶圆传输时候、超洁净自动化治理有规划和晶圆名义固化界限的研发、坐褥、销售。亦然200mm SMIF POD装载机和微环境时候的原始发明者之一；
1995年，巨室富创得Fortrend推出第一台200mm SMIF装载机/卸载机（PLUS-500），并在惠普-科瓦利斯工场建设了第一家200mm SMIF工场；
如今巨室富创得FORTREND SMIF收尾要道中枢时候及中枢部件自研自有，领有7多项好意思国和外洋SMIF专利，基本笼罩头部FAB厂和全套IC制造过程中，并得回充分考据。成为工艺开辟与工场传输系统之间的遑急自动化集结部分。
巨室富创得FORTREND轨范机械界面SMIF 除以上上风外还具备以下上风：
1：产物获SEMI E19.4， S2， S8， CE， UKCA 认证；
2：能与竞争敌手兼容的CIM集成，OHT和AGV装载兼容以及用于无法处理E84集结OEM器具的可选SEMI E84通讯卡，适用于统统现存器具，舒服全制程机台及自动化需求，生动多变；
3：集成式主动ULPA电扇过滤安装 (FFU)，收尾最优环境远隔；
4：3种机身联想和9种夹钳联想，便于处理盒式、侧斜式、旋转式、平移式cassettes舒服各式复杂工况需求；
5：具有多中故障安全功能，包括：pod在位传感器、wafer mapping传感器、晶圆片隆起传感器、料盒过载传感器、恒定扭矩直流步进电机（带编码器响应），可收尾精准可靠的指点收尾。
6：唯独一家SMIF供应商提供举座治理有规划革新诡计、生动的软件和硬件建树包括： 射频识别（RFID）批次追踪硬件系统、材料物流料理软件、无尘室处理机器东说念主、200mm/300mm自动晶圆和微粒载体开启器等；
巨室富创得FORTREND轨范机械界面（SMIF）产物一览：调教 小说
